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本发明公开了一种低温下光学与射频耦合测量纳米谐振器振动的装置与方法,光学与射频耦合指的是采用射频信号源对纳米谐振器进行激励,再利用光学方式对其振动进行探测,纳米谐振器置于低温恒温器内的三轴压电位移台上,低温恒温器用于产生小于1K的极低温实验环境,其冷盘上固定有三轴压电位移台,通过基于低温光纤以及自由空间光学两种探测方式。本发明的有益效果:电学促动相比光学促动可施加更大的驱动功率用于研究纳米谐振器在不同工况下的动力学特性,避免了测量结果的影响,利用电学促动方法可以节约低温恒温器的内部空间且连接更为
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112161697 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202011198028.2
(22)申请日 2020.10.30
(71)申请人 苏州大学
地址 21
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