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提供晶片检查装置，其以最低限度的移动单元使宏观照相机和微观照相机移动到各自的拍摄部位。根据与保持工作台的旋转角度对应的中心间距离，将微观照相机配置在微观照相机的适当的拍摄位置。即使在保持面的中心(C0)与晶片的中心(C1)错开而晶片的外周的X轴方向的位置随着保持工作台的旋转而变动的情况下，也能够使微观照相机的拍摄范围追随晶片的外周位置。因此，能够容易地确定微观照相机的拍摄范围。另外，仅通过利用一个X轴移动机构使两个照相机沿着X轴方向移动，就能够实施晶片的正面检查和晶片的外周检查这双方。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112213328 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202010629779.9
(22)申请日 2020.07.03
(30)优先权数据
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