基板处理方法、改性装置以及基板处理系统.pdfVIP

基板处理方法、改性装置以及基板处理系统.pdf

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处理基板的基板处理方法具有：改性工序，使用激光在至少所述基板的背面表层或所述基板的内部形成改性层；和表面处理工序，其在所述改性工序之后，在保持着所述基板的背面的状态下处理该基板的表面。改性装置具有向至少所述基板的背面表层或所述基板的内部照射激光而形成改性层的激光照射部。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112236842 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 201980038078.3 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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