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本公开涉及一种半导体装置和其制造方法。所述半导体装置包含:衬底;第一氮化物半导体层,其在所述衬底上方;半导体堆叠,其安置在所述第一氮化物半导体层上并与所述第一氮化物半导体层接触;以及第一电极,其与所述半导体堆叠接触。其中所述半导体堆叠包括第一层和第二层,并且所述第一层沿着a轴的晶格常数小于所述第二层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112219283 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202080002884.8 H01L 29/04 (2006.01)
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