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本发明揭示了一种三电极结构的湿度传感器芯片,该湿度传感器芯片包括湿度敏感模块、测量电路模块、微处理单元MCU;湿度敏感模块包括湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极;湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极构成三电极结构的湿度敏感型电容‑‑电阻复合结构;第一电极、湿度敏感材料、衬底、第三电极构成电容器结构,湿度敏感材料、衬底为电容器的复合介电层;第二电极、湿度敏感材料、衬底、第三电极也构成电容器结构,湿度敏感材料、衬底为电容器的介电层;第一电极、湿度敏感材料、第二电极构成湿度敏
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112229878 A
(43)申请公布日
2021.01.15
(21)申请号 20201
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