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一种生产高纯三氯氢硅和四氯化硅的装置及工艺.pdfVIP

一种生产高纯三氯氢硅和四氯化硅的装置及工艺.pdf

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    本发明涉及一种生产高纯三氯氢硅和四氯化硅的装置及工艺，包括依次连接的三氯氢硅和四氯化硅合成单元、三氯氢硅和四氯化硅提纯单元、三氯氢硅和四氯化硅分离单元，三氯氢硅精制单元和四氯化硅精制单元分别与三氯氢硅和四氯化硅分离单元连接。采用本发明的装置合成过程中HCl100％完全反应，不需要后系统的氯化氢回收装置，及副产氢气水洗处理装置，实现氢气深冷后直接回收利用，实现在线生产，不停止装置即可排出系统不反应的微硅粉，保证装置的长期稳定运行，可以实现装置的余热回收，装置中添加了干法除尘器，实现三氯氢硅装置干

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112209384 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202010913897.2 (22)申请日 2020.09.03 (71)申请人 郑州格矽科技发展有限公司

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