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晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法.pdfVIP

晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法.pdf

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    该发明涉及一种晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法，其中晶圆清洗装置包括：晶圆载台，用于放置晶圆；第一喷嘴，朝向所述晶圆载台设置，用于喷淋清洗液；第一驱动臂，连接至所述第一喷嘴，用于驱动所述第一喷嘴移动，以改变所述第一喷嘴的喷淋区域；至少一个第二喷嘴，朝向所述晶圆载台设置，用于喷淋清洗液；第二驱动臂，连接至所述第二喷嘴，用于驱动所述第二喷嘴移动至所述第一喷嘴移开的喷淋区域，以对所述第一喷嘴移开的喷淋区域进行补喷。本发明具有第二喷嘴，由所述第二喷嘴对第一喷嘴的喷淋区域进行补喷，以优化第一喷嘴对

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112233996 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 20191

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