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一种三光栅拼接系统,三光栅拼接系统包括:干涉仪波前测量系统、光栅拼接机构,干涉仪波前测量系统包括激光干涉仪、二维角度调整机构,二维角度调整机构设置于激光干涉仪的斜下面,光栅拼接机构包括气浮隔振平台、支撑及水平粗调机构、平行支架、底板和光栅位置调整及定位机构,气浮隔振平台设置于激光干涉仪的正下方,支撑及水平粗调机构设置在气浮隔振平台上,并位于激光干涉仪的四周,支撑及水平粗调机构的四个定位支架位于同一水平面上,平行支架设置在支撑及水平粗调机构上,底板设置在平行支架上,光栅位置调整及定位机构设置在底板
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112229513 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202011051435.0 G01M 11/02 (2006.01)
(22)申请日 2
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