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一种通用掩模夹具.pdfVIP

一种通用掩模夹具.pdf

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    本发明公开了一种通用掩模夹具，包括底座，所述底座上设有放置台，所述放置台上设有掩模，所述底座上设有用于夹持不同大小掩模的夹持装置，本发明通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112213928 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202011196576.1 (22)申请日 2020.10.31 (71)申请人 无锡中微掩模电子有限公司

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