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本发明涉及椭偏仪或散射仪,包括光源(1);偏振器(5);光学照明系统(2,4),适于朝向样品(6)引导入射偏振光束(11);光波前分束器(20),被布置为接收通过反射、透射或衍射产生的次级光束(12),所述光波前分束器(20)被定向为形成三个准直分离光束;光学偏振修改装置(25)和光学偏振分离装置(26),形成六个角度分离的光束;检测系统,适合于检测六个分离的光束;以及处理系统,适合于从中推导出椭圆偏振或散射测量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112236666 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 201980032892.4 杰拉尔丁 ·梅里齐
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