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用于涂布基材的连续式设备与方法.pdfVIP

用于涂布基材的连续式设备与方法.pdf

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    一种用于涂布基材(103)的连续式设备(100)，包括：处理模块(130)和用于将所述基材(103)隔离在内或用于将所述基材(103)隔离在外的真空隔离室(110、150)。所述真空隔离室(110、150)包括：用于接收具有多个基材(103)的基材载体(102)的腔室以及用于抽空并填充所述腔室的流体通道配置。所述流体通道配置包括：用于抽空并填充所述腔室的第一通道和用于抽空并填充所述腔室的第二通道，其中所述第一通道和所述第二通道被配置在所述腔室的相对侧上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112236544 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 201980033337.3 托尔斯滕 ·迪佩尔　弗兰克 ·梅　

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