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本申请实施例公开了一种晶圆清洗设备。所述晶圆清洗设备包括工艺槽组件,工艺槽组件包括槽体组件、安全控制电路;槽体组件包括槽体、加热器,槽体用于承载清洗液,加热器用于加热槽体内的清洗液;安全控制电路包括第一控制回路和第二控制回路,第一控制回路用于控制第二控制回路导通或断开,第二控制回路用于控制加热器开启或关闭;其中,第一控制回路包括串联的第一控制器件、漏液检测组件;第一控制器件的控制部通电时其开关部闭合,控制部断电时开关部断开,第一控制器件的控制部串联在第一控制回路中;第二控制回路包括第二控制器件;
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112222078 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202011005053.4
(22)申请日 2020.09.22
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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