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提供修整方法，能够抑制平坦化修整所需的时间。修整方法具有如下的步骤：位置检测步骤(ST4)，利用拍摄单元对保持工作台上所保持的修整板进行拍摄，对修整板的外周缘的位置进行检测；定位步骤(ST6)，将从修整板的一端朝向另一端的方向定位成与主轴的轴心平行，并且根据通过位置检测步骤(ST4)而检测的修整板的外周缘的位置，在修整板的一端的外侧将切削刀具的下端定位于向修整板切入的切入深度；以及修整步骤(ST7)，在实施了定位步骤(ST6)之后，使切削刀具相对于修整板相对移动而从修整板的一端向另一端进行切削，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112208013 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202010644248.7
(22)申请日 2020.07.07
(30)优先权数据
2019-1293
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