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本公开涉及一种化学机械抛光设备、一种采用化学机械抛光设备的制造显示装置的方法和化学机械抛光方法,化学机械抛光设备包括:输送带,传送基底;抛光头,设置在输送带上方;以及主体部件,主体部件移动抛光头并且向抛光头供应浆料。抛光头包括:第一抛光部件,包括围绕第一浆料出口的第一抛光垫;以及第二抛光部件,围绕第一抛光部件并且包括第二抛光垫。第二浆料出口形成在第一抛光部件和第二抛光部件之间,并且第一抛光部件和第二抛光部件在基本上垂直于基底的方向上是彼此独立地可移动的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112207709 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202010662021.5 B24B 37/20 (2012.01)
(22)申请日 2
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