界面吸附式Micro LED排列机器人的排列方法.pdfVIP

界面吸附式Micro LED排列机器人的排列方法.pdf

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本发明公开了一种界面吸附式MicroLED排列机器人,包括底板、顶板、具有铁磁性的吸附膜卷、界面吸附排列槽、油层去除槽、水层去除槽、清洗槽、烘干装置及电容式缺陷检测装置,吸附膜卷的吸附膜上开设有容置井,顶板设有第一辊轴单元;界面吸附排列槽包括顶部开口的排列液槽、气囊、两个辊轴磁化单元及两个第二辊轴单元,排列液槽的底部灌装有去离子水,排列液槽的顶部灌装有MicroLED与油性溶剂按配比混合成的悬浊液,去离子水与悬浊液之间形成有稳定的油水界面;油层去除槽、水层去除槽、清洗槽均包括顶部开口的容液槽

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112216638 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202011113364.2 (22)申请日 2020.03.06 (62)分案原申请数据 2020101

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