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本发明公开了一种界面吸附式MicroLED排列机器人，包括底板、顶板、具有铁磁性的吸附膜卷、界面吸附排列槽、油层去除槽、水层去除槽、清洗槽、烘干装置及电容式缺陷检测装置，吸附膜卷的吸附膜上开设有容置井，顶板设有第一辊轴单元；界面吸附排列槽包括顶部开口的排列液槽、气囊、两个辊轴磁化单元及两个第二辊轴单元，排列液槽的底部灌装有去离子水，排列液槽的顶部灌装有MicroLED与油性溶剂按配比混合成的悬浊液，去离子水与悬浊液之间形成有稳定的油水界面；油层去除槽、水层去除槽、清洗槽均包括顶部开口的容液槽
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112216638 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202011113364.2
(22)申请日 2020.03.06
(62)分案原申请数据
2020101
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