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本发明公开了一种二硫化钼掺银的硫化薄膜及其制备方法与应用。所述二硫化钼掺银的硫化薄膜包括在其厚度方向上依次层叠的钛过渡层、钛/银/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/银掺杂硫化层。所述制备方法包括:采用磁控溅射技术,在基体表面依次沉积钛过渡层、钛/银/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/银掺杂硫化层,之后在真空惰性气氛中,对所获复合薄膜进行高温硫化处理,获得所述二硫化钼掺银的硫化薄膜。本发明的高温硫气氛退火处理的二硫化钼银复合薄膜在真空和大气环境下均具有良好的摩擦磨损性能,大气环境下薄膜的润滑性能得
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112210753 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202011125570.5 C23C 14/58 (2006.01)
(22)申请日 2
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