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低翘曲扇出型加工方法及其基材的生产.pdfVIP

低翘曲扇出型加工方法及其基材的生产.pdf

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    提供了低翘曲扇出型加工方法及其基材的生产。扇出型加工的方法包括：提供或获得熔合玻璃层压片或晶片，其具有芯体层以及第一包层和第二包层，所述芯体层包括具有芯体玻璃热膨胀系数α芯体的芯体玻璃，所述第一包层和第二包层各自包括具有包层玻璃热膨胀系数α包层的包层玻璃，其中，α包层α芯体；将集成电路装置固定到层压片或晶片的第二包层；在集成电路装置上或上方形成扇出层；以及移除一些第一包层以减少其上具有集成电路装置和扇出层的片材或晶片的翘曲。还公开了生产具有选定CTE的层压片或晶片的方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112233985 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 20201

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