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2023-05-25 发布于四川
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一种环形三轴解耦微陀螺仪.pdf

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本发明公开了一种环形三轴解耦硅微陀螺仪的结构，包括上层的器件结构层、下层的玻璃衬底层以及生长于玻璃衬底层上的金属引线层，器件结构层为环形对称结构，包括驱动传递框架，内耦合环，翻滚角、俯仰角检测质量圆盘，航向角检测框架，其中，45°、135°、225°、315°方向上四个驱动传递框架通过内耦合环连接，实现等幅差分驱动和差分检测；内耦合环通过工字型解耦梁与三轴检测部分相连，实现了驱动和三轴检测之间较好的解耦功能；翻滚角和俯仰角检测通过翻滚角、俯仰角检测质量圆盘和对应的翻滚角金属电极薄膜，俯仰角金属电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112212849 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202010969386.2 (22)申请日 2020.09.15 (71)申请人东南大学地址 21

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