一种环形三轴解耦微陀螺仪.pdfVIP

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本发明公开了一种环形三轴解耦硅微陀螺仪的结构,包括上层的器件结构层、下层的玻璃衬底层以及生长于玻璃衬底层上的金属引线层,器件结构层为环形对称结构,包括驱动传递框架,内耦合环,翻滚角、俯仰角检测质量圆盘,航向角检测框架,其中,45°、135°、225°、315°方向上四个驱动传递框架通过内耦合环连接,实现等幅差分驱动和差分检测;内耦合环通过工字型解耦梁与三轴检测部分相连,实现了驱动和三轴检测之间较好的解耦功能;翻滚角和俯仰角检测通过翻滚角、俯仰角检测质量圆盘和对应的翻滚角金属电极薄膜,俯仰角金属电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112212849 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202010969386.2 (22)申请日 2020.09.15 (71)申请人 东南大学 地址 21

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