- 1、本文档共13页,其中可免费阅读12页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种环形三轴解耦硅微陀螺仪的结构,包括上层的器件结构层、下层的玻璃衬底层以及生长于玻璃衬底层上的金属引线层,器件结构层为环形对称结构,包括驱动传递框架,内耦合环,翻滚角、俯仰角检测质量圆盘,航向角检测框架,其中,45°、135°、225°、315°方向上四个驱动传递框架通过内耦合环连接,实现等幅差分驱动和差分检测;内耦合环通过工字型解耦梁与三轴检测部分相连,实现了驱动和三轴检测之间较好的解耦功能;翻滚角和俯仰角检测通过翻滚角、俯仰角检测质量圆盘和对应的翻滚角金属电极薄膜,俯仰角金属电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112212849 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202010969386.2
(22)申请日 2020.09.15
(71)申请人 东南大学
地址 21
您可能关注的文档
- 一种SDI信号传输系统、传输方法、电子内窥镜和存储介质.pdf
- 一种底封胶填充控制方法、装置、电子设备及介质.pdf
- 基于深度神经网络的实体及关系联合抽取方法.pdf
- 用于附接到注射装置的数据采集装置.pdf
- 新能源汽车用通用型附加电池包系统及新能源汽车.pdf
- 一种车载仪表升级方法、装置及系统.pdf
- 一种倾斜式双轴切碎机及使用方法.pdf
- 一种智能路灯.pdf
- 一种柔性控制电缆.pdf
- 窄带干扰检测及抑制方法、装置、芯片、设备和存储介质.pdf
- 2024至2030年欧美板式换热器项目投资价值分析报告.docx
- 2024至2030年中国扣项目投资价值分析报告.docx
- 2024至2030年中国洁净环境测试仪数据监测研究报告.docx
- 2024年中国不锈钢隔离护栏市场调查研究报告.docx
- 2024年中国中巴车雨刮电机市场调查研究报告.docx
- 2024年中国脚踏黄油机市场调查研究报告.docx
- 2024至2030年中国衬氟止回阀行业投资前景及策略咨询研究报告.docx
- 2024至2030年中国直通式楼宇对讲系统数据监测研究报告.docx
- 2024至2030年迷宫游戏盘杯垫项目投资价值分析报告.docx
- 2024至2030年冷媒压力计项目投资价值分析报告.docx
文档评论(0)