基于超表面光学天线的太赫兹射频信号探测器及制备方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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基于超表面光学天线的太赫兹射频信号探测器及制备方法.pdf

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本发明公开了一种基于超表面光学天线的太赫兹射频信号探测器及制备方法，探测器包括：衬底、掺杂层、二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极、肖特基电极和普通电极；超表面光学天线层宽度为2～100mm，包括分别用于探测射频S波段、C波段或X波段信号的第一金属层和探测太赫兹信号的第二金属层，由于第一金属层和第二金属层分别对射频和太赫兹信号具有极强的局域表面等离激元感应能力，一旦与对应的信号产生局域表面等离激元振荡，其响应速度属于超高速响应，能够在极短时间内产生极强的响应信号，使得探测器能够更好地分辨太赫兹

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112216763 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202011155904.3 H01Q 15/10 (2006.01) (22)申请日 2

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