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一种避免基板刮伤的方法和装置.pdfVIP

一种避免基板刮伤的方法和装置.pdf

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    本发明公开一种避免基板刮伤的方法和装置，包括如下步骤：驱动基板侧边的移动单元从放置台面上升到第一预设高度，从而带动基板侧边从放置台面抬升到第一预设高度；而后驱动基板内侧的移动单元从放置台面抬升，从而带动基板内侧从放置台面抬升。本发明通过先抬起基板的外侧，而后再抬起基板的内侧，使得基板可以从边缘到中心缓慢脱离放置台面，避免基板同时脱离放置台面的时候带来振动，从而避免基板的振动与台面摩擦形成刮伤的情况，从而提升了基板的产品品质。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112230454 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202010999103.9 (22)申请日 2020.09.22 (71)申请人 福建华佳彩有限公司 地

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