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2023-05-25 发布于四川
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一种利用热阴极产生中和电子的射频离子赋能装置.pdf

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本发明公开了一种利用热阴极产生中和电子的射频离子赋能装置，包括栅极系统、气体隔离器、放电室、金属外壳、交流电源、偏置电源和阴极灯丝，放电室的外侧安装有第一线圈，放电室的一侧底部安装有气体隔离器，放电室的底部安装有第二线圈，第一线圈和第二线圈可根据不同设计情况进行调整，放电室的外侧安装有金属外壳，第二电源通过导线将正电压加载在第一栅极上，第一电源通过导线将负电压加载在第二栅极上，偏置电源将负电压加载在阴极灯丝，通过交流电源供电加热灯丝。该装置可以快速的获得本初启辉电子和中和电子流，提高设备的生产效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112216581 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202011204368.1 (22)申请日 2020.11.02 (71)申请人常州鑫立离子技术有限公司

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