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本发明的基于RGO的生物传感器包括:源极和漏极,形成在所述基板上;还原的氧化石墨烯(RGO)通道,形成在源极与漏极之间;PDMS芯片,向RGO通道供给反应溶液;钝化层,对由PDMS芯片供给的反应溶液进行密封,以使其不接触源极和漏极;及栅电极。其中,钝化层由SU‑8光刻胶构成,栅电极直接接触到反应溶液而实现液相驱动。由SU‑8构成钝化层而能够便利稳定地实现基于PDMS芯片的反应溶液的供给。因栅电极的液相驱动,能够以‑1.0V~1.0V左右的栅压进行驱动,可以呈现具有较高灵敏度的场效应晶体管(FET
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112219116 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 201980036076.0 (74)专利代理机构 北京天盾知识产权代理有限
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