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本发明公开了一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置，包括轨道，所述轨道的顶部滑动连接有移动小车，所述移动小车的顶部通过沿竖直方向分布的升降组件活动连接有定位组件，所述定位组件的右侧通过执行机构活动连接有研磨组件，所述执行机构包括滑台，所述滑台顶部的前侧固定安装有沿竖直方向分布的第一电机，所述滑台的内部转动连接有丝杆，所述丝杆的外部且位于滑台的内部活动连接有滑座，本发明涉及真空磁控溅射技术领域。该用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置，通过设置有执行机构和研磨组件，利用研磨组件替代人工研磨可以确保研磨的质
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112223106 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202011075850.X B24B 47/14 (2006.01)
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