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本发明涉及芯片技术领域,公开了一种三相逆变功率芯片及其制备方法,该制备方法包括在衬底上形成有源区和位于有源区之外的隔离区,在每个有源区中形成晶体管的源极、漏极和栅极,在隔离区形成第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘和第四焊盘,将芯片的源极、漏极和栅极均延伸至与之对应的第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘或第四焊盘,并将晶体管的源极、漏极和栅极和与之对应的第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘或第四焊盘电性连接。采用本发明提供的三相逆变功率芯片的制备方法制备的三相逆变功率芯片,提高了集成度且减小了芯片间的寄生电感,从而提高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112234030 A
(43)申请公布日
2021.01.15
(21)申请号 20191
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