一种硅锭滚磨设备.pdfVIP

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一种硅锭滚磨设备,属芯片制造技术领域,包括磨削部、驱动部、压紧部和硅锭,驱动部安装在磨削部侧部,压紧部位于磨削部上方,规定安装于磨削部和驱动部之间。磨削部包括底座、磨削棍、从动轮、平台和侧板,底座具有一对,底座上具有并排布置的两个单耳,一对底座之间安装一对磨削棍,磨削棍的转轴外端安装从动轮,与从动轮相同侧的底座外端延伸一个平台,平台内侧还具有向上安装侧板。驱动部包括电机和主动轮,电机安装在平台,电机的输出轴连接主动轮。压紧部包括支架、压紧辊、压紧柱、支撑柱、弹簧和螺母,支架具有一对,支架立于地面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112222967 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011114538.7 (22)申请日 2020.10.19 (71)申请人 江西森通新材料科技有限公司

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