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一种基板抽检方法.pdfVIP

一种基板抽检方法.pdf

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    本发明公开了一种基板抽检方法，包括：根据预设抽检参数对基板进行抽检和前值量测以获得所述基板的第一测量结果；将所述基板按照预先设定的顺序绑定至目标制程机台并执行相应制程；对所述基板进行后值量测以获得第二测量结果；根据所述第一测量结果和所述第二测量结果确定所述目标制程机台的制程能力。该基板抽检方法通过将经过前值量测的基板按照预先设定的顺序分配至目标制程机台，从而能够对所有制程机台的制程能力进行实时监控，有效避免了因分配不均导致某些制程机台未被定期监控的风险。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112230452 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 20191

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