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一种混合键合结构及混合键合方法，该混合键合结构包括：第一芯片(10)和第二芯片(20)，第一芯片(10)的表面包括第一绝缘介质(11)和第一金属(12)，第一金属(12)和第一绝缘介质(11)之间具有第一空隙区域(13)；第二芯片(20)的表面包括第二绝缘介质(21)和第二金属(22)；第一金属(12)的表面高于第一绝缘介质(11)的表面；第一金属(22)和第二金属(22)接触后形成金属键合，在第一空隙区域(13)内，第一金属(12)发生纵向和横向的形变；第一绝缘介质(11)和第二绝缘介质(21
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112236849 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 201980003420.6 H01L 23/488 (2006.01)
(22)申请日
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