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本发明公开了一种稀土元素合金化法提高钛锆固溶体合金靶材性能的方法,其合金配方为:Ti1‑x‑yZrxREy(wt)、Ti1‑x‑y‑zZrxRE1yRE2z(wt%)、Ti1‑x‑y‑zZrxRE1yRE2zRE3w(wt%)、等单元稀土元素添加或者多元稀土元素的复合添加;将上述配方质量百分比配料后放入真空熔炼制备合金铸锭、对铸锭进行致密化处理、靶材尺寸加工,用其合金靶材,在磁控溅射上,在硅晶元基体样品上进行溅射,制备成吸气薄膜。本发明制备的吸气薄膜具有低的激活温度和良好的吸气性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112226737 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202010971960.8
(22)申请日 2020.09.16
(71)申请人 上海晶维材料科技有限公司
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