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本发明公开了一种基于微机电系统MEMS超声波换能器的微型扬声器，包括单个或多个MEMS超声波换能器，用于根据输入的电学控制信号发出超声波脉冲或超声波波包序列；控制电路，用于输出离散或近似离散的电学控制信号，其中，电学控制信号使超声波脉冲或超声波波包序列在时域上叠加后能够形成逼近目标音频波形的声波包络。本发明的基于微机电系统MEMS超声波换能器的微型扬声器最终合成包络失真小，声压灵敏度高，能量转化效率高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112218220 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202011259456.1
(22)申请日 2020.11.12
(71)申请人 诺思（天津）微系统有限责任公司
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