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包含存取线结构的设备及相关方法及电子系统.pdfVIP

包含存取线结构的设备及相关方法及电子系统.pdf

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    本专利申请案涉及一种包含存取线结构的设备及相关方法及电子系统。一种设备包括存储器阵列，所述存储器阵列包括字线、位线及存储器单元。每一存储器单元耦合到所述字线中的相关联者及所述位线中的相关联者。所述字线中的每一者埋入于衬底中且包括下导电材料、上导电材料及所述下导电材料与所述上导电材料之间的所述下导电材料的氧化材料。在额外实施例中，所述设备包括存取线、数字线及存储器单元。所述存取线包括第一导电材料与第二导电材料之间的经氧化材料，所述经氧化材料包括所述第一导电材料的氧化物。还揭示形成所述设备及电子系统

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112216699 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 20201

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