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本发明涉及基于声表面波的湿度传感器及系统，具体而言，涉及湿度传感领域；本申请的该湿度传感器，当需要对待测湿度进行测量的时候，给定该湿度传感器一个特定频率的射频信号，该第一电极处发生谐振并产生电信号，在第一电极和基底的作用下，通过逆压电效应将电信号转化为声信号，从而在该基底表面产生声表面波，该声表面波在传播的时候经过该吸附部，该吸附部的介电常数受湿度的影响，进而使得该基底的介电常数发生改变，在第二电极处，基底与第二电极相互作用通过压电效应，将声信号转变为电信号，实现对变化的声表面波的频率检测，进而
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112213384 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202011092166.2
(22)申请日 2020.10.13
(71)申请人 金华伏安光电科技有限公司
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