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使用同轴波导的等离子体装置以及基板处理方法.pdfVIP

使用同轴波导的等离子体装置以及基板处理方法.pdf

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    一种等离子体装置的示例包括：同轴波导，其具有内导体和包围该内导体的外导体，其中在外导体和内导体之间设置有第一间隙，所述同轴波导具有在多个分支部处分支的形状；多个杆，其具有导体和包围该导体的电介质，其中在电介质和导体之间设置有第二间隙，所述多个杆连接在分支部处分支的同轴波导的两个端部，以连接第一间隙和第二间隙；以及导电桩，其设置在同轴波导的通过在分支部处分支而获得的分支部分处，所述导电桩可插入第一间隙并且可从第一间隙移除。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112216589 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202010655398.8 (22)申请日 2020.07.09 (30)优先权数据

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