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本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种位置检测装置及位置检测方法。位置检测装置包括：出水部，具有出水口，出水口位于用于支撑检测对象(80)的支撑面的第一侧；接水部，具有接收从出水口中流出的水的接水口，接水口位于支撑面的与第一侧相对的第二侧；检测部(40)，设置在接水部上，以检测接水部是否接收到水；控制器(50)，与检测部(40)电连接，以根据检测部(40)的检测结果判断检测对象(80)是否在支撑面上。本发明通过水流对检测对象的位置进行检测，水经过晶圆的表面流走，不会对晶圆中的器件产生影响，有
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112234011 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202010919128.3
(22)申请日 2020.09.03
(71)申请人 北京烁科精微电子装备有限公司
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