分割曝光掩模、分割曝光方法、曝光图案和触摸传感器.pdfVIP

分割曝光掩模、分割曝光方法、曝光图案和触摸传感器.pdf

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提供了一种分割曝光掩模、分割曝光方法、曝光图案和触摸传感器。该分割曝光掩模用于在具有N个分割曝光区域的基板上通过分割曝光形成图案，具有与2至N‑1个分割曝光区域相对应的尺寸，并且被分割为2至N‑1个。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112230506 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202010575711.7 G03F 9/00 (2006.01) (22)申请日 20

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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