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本发明属于微纳制造相关技术领域，其公开了一种高选择性体声波谐振氢气传感器及其制备方法，所述氢气传感器包括氢气敏感层、氢气选择层及体声波谐振器，所述氢气敏感层设置在所述体声波谐振器上，所述氢气选择层设置在所述体声波谐振器上，且其与所述体声波谐振器之间形成收容空间，所述氢气敏感层收容在所述收容空间内；其中，所述氢气选择层为一层或者多层只允许氢气分子通过的薄膜。本发明实现了对氢气的选择性吸附，提高了检测的准确性，且所述氢气传感器的结构简单，对氢气检测选择性强，灵敏度高，响应快，且能与集成电路工艺兼容，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112229905 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202010933600.9 C23C 14/58 (2006.01)
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