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本发明提供一种晶圆测试系统及测试方法,该系统包括:依次连接的探针卡、ARM处理器及主控单元,探针卡具有至少两个接点;ARM处理器监控每个接点的测试状态信息,并将其传输至主控单元;同时接收主控单元的启停命令,以控制每个接点的开启、暂停或结束;主控单元根据测试状态信息获得启停命令;启停命令包括:控制已完成前一测试项的接点暂停,直至所有接点完成该前一测试项的测试,所有接点开启进行当前测试项;控制已完成当前测试项的接点暂停,直至所有接点完成当前测试项的测试,所有接点开启进行下一测试项;控制所有接点结束测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112213621 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202010999829.2
(22)申请日 2020.09.22
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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