一种衬底片旋转腐蚀清洗设备及其清洗方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种衬底片旋转腐蚀清洗设备及其清洗方法.pdf

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本发明公开了一种衬底片旋转腐蚀清洗设备及清洗方法，包括工艺腔、旋转机构系统、有机溶剂供给系统、清洗液供给系统、纯水供给系统、供气系统、机械手、回收系统和控制系统；工艺腔内包含衬底片固定装置和喷淋臂；旋转机构系统由电机系统与衬底片固定装置相连；有机溶剂供给系统开启时向工艺腔内输入有机溶剂；清洗液供给系统开启时向工艺腔内输入清洗液；供气系统由管路与喷淋臂连通；机械手自动实现衬底片的传递；回收系统用于排出工艺腔内的气体与废清洗液；控制系统由可编程式控制器及触摸人机界面组成。本发明方案采用有机溶剂、酸性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112222062 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202010994444.7 H01L 21/67 (2006.01)

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