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本发明涉及单晶生长炉技术领域，且公开了一种多晶硅处理用全自动直拉单晶生长炉，包括上炉体、下炉体、籽晶轴驱动装置和支撑板，所述上炉体固定安装在下炉体的顶部，所述籽晶轴驱动装置固定安装在上炉体的顶部。通过液压缸将液压杆缩短至最短长度，第二固定座脱离地面，万向轮与地面接触，从而可轻松移动支撑板和隔热板，可非常方便地往坩埚中添加硅原料，且工作人员可从下炉体底部的通孔处进入，对该生长炉进行清理，更加方便快捷，通过弹簧和伸缩杆的设置，可将坩埚震动现象大大消减，从而提高坩埚的稳定性，减少硅在坩埚中的晃动，通过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112210821 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202011054025.1
(22)申请日 2020.09.30
(71)申请人 严唐
地址 2300
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