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本发明提供一种换能器,其包括多个工作结构。工作结构包括第一电极、空腔定义层、第二电极及封止件。空腔定义层设置于第一电极上。空腔定义层具有振荡膜。振荡膜设置于第一电极的上方。振荡膜具有主要部及由主要部向外延伸的多个辅助部。振荡膜的主要部与第一电极之间具有空腔。振荡膜的多个辅助部与第一电极之间具有多个通道。振荡膜的多个辅助部分别具有多个贯孔。第二电极设置于振荡膜的主要部上。多个封止件设置于空腔定义层上和多个贯孔中。多个工作结构的第一工作结构的多个通道包括多个通道组。通道组的多个通道设置于第一工作结构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112221918 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202011089455.7
(22)申请日 2020.10.13
(30)优先权数据
109107832
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