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本发明涉及一种圆柱型原子气室石蜡抗弛豫镀膜装置及控制系统，由石蜡储备单元、加热镀膜单元、旋转驱动单元、光学镀膜均匀检测器、微区加热镀膜修整单元、圆柱型原子气室、驱动轮构成。其中，石蜡储备单元由石蜡溶液容器、蠕动泵、石蜡溶液喷头组成；加热镀膜单元由恒温加热管组成；旋转驱动单元由伺服电机、驱动小齿轮、从动大齿轮、轴向运动滚轮组成；光学镀膜均匀检测器由多象限光线偏转探测器、激光控制器、连接线、激光探头组成；微区加热镀膜修整单元由多个微小加热片组成。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112246489 B
(45)授权公告日 2021.07.27
(21)申请号 202011087016.2 B05B 13/02 (2006.01)
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