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本发明提供一种温度调整装置,能够使第一面的面内的温度差变小。温度调整装置具有第一构件和流路。第一构件形成有被设为温度控制的对象的第一面。流路在第一构件的内部沿第一面形成,该流路的一端被设为用于导入传热介质的导入口,另一端被设为用于排出所述传热介质的排出口。流路形成为:与第一面之间的热阻随着从排出口去向导入口而增加。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112289670 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202010691295.7
(22)申请日 2020.07.17
(30)优先权数据
2019-1361
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