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本发明公开了一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统，固化烘箱包括送风机构，进风通道前端的固化出风口输出气体对聚酰亚胺薄膜进行吹风固化，固化的废气通过吸风通道的废气进风口吸出；供气机构包括控温混风器和气体加热器，气体加热器通过高温气体接口连通控温混风器，控温混风器通过主送风管道与主进气口连通；主控制器根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略，控制控温混风器输出至进风通道的气体温度，进而使得输送至固吹出风口的气体温度满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求。本发明中，实现了对聚酰亚胺薄膜表面的精确控温，减少
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112269414 B
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202010972962.9 CN 207197116 U,2018.04.06
(22
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