- 1、本文档共14页,其中可免费阅读13页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种半导体芯片清洗剂,其包括润湿剥离剂和全氟端基聚氧乙烯醚构成的润湿剥离组合物,还可包含渗透剂、增溶剂、复合功能剂、含氮络合剂、有机助剂和超纯水,还提供了其制备方法、用途和半导体芯片的清洗方法。所述清洗剂通过包含特定组分组成的润湿剥离组合物,以及渗透剂、复合功能剂和含氮络合剂的优选组合与协同,从而取得了优异的技术效果,在半导体芯片清洗技术领域具有良好的工业应用前景和推广潜力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112266832 B
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202010995984.7 C11D 3/28 (2006.01)
您可能关注的文档
- 一种插座.pdf
- 局部地形变化监测装置、局部地形监测方法及系统.pdf
- 一种利用可燃固废制备工业型煤的方法.pdf
- 一种电力系统用集表箱.pdf
- 一种搭接接头焊接质量缺陷预测的方法、系统及计算机可读存储介质.pdf
- 一种多角度皮带斜轮分拣机.pdf
- 一种单镜头无人机倾斜摄影的航带生成方法及装置.pdf
- 一种废石英砂滤料再生处理机的烘干装置.pdf
- 一种易于固定的金属护栏.pdf
- 一种加工机床切削废料处理装置.pdf
- 四川省自贡市2025年初三下学期2月教学质量检测试题生物试题含解析.doc
- 江苏省东台市第四教育联盟市级名校2025届第二学期初三期末考试生物试题含解析.doc
- 青海省海北市重点中学2024-2025学年初三毕业生四月调研测试生物试题试卷含解析.doc
- 2025年安徽省铜陵市义安区重点名校初三下第七次周练生物试题含解析.doc
- 2025年江西抚州市临川区初三年级三模生物试题试卷含解析.doc
- 云南省红河州建水县重点名校2025届初三下学期第一次统练试题生物试题试卷含解析.doc
- 2025年江苏省大丰市第四中学宁夏银川一中初三年级第六次月考生物试题含解析.doc
- 遂宁市重点中学2025年初三第八次月考(四模)生物试题试卷含解析.doc
- 四川省广福初级中学2024-2025学年初三4月阶段性测试生物试题含解析.doc
- 江西省瑞金市瑞金四中学2025届初三寒假模拟(一)生物试题试卷含解析.doc
文档评论(0)