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2023-05-26 发布于四川
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晶圆静电吸盘的检测方法.pdf

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本申请提供一种晶圆静电吸盘的检测方法，先获取伸缩接地针与晶圆静电吸盘的表面齐平时的库仑力阈值，以及伸缩接地针突出于晶圆静电吸盘的表面的高度阈值，而后在无晶圆状态下，采用压力计获取伸缩接地针与晶圆静电吸盘的表面齐平时的压力值，以及采用高度计获取伸缩接地针突出于晶圆静电吸盘的表面的高度值，并将获取的高度值与高度阈值进行比对，以及将获取的压力值与库仑力阈值进行比对，以对晶圆静电吸盘进行检测判定。本申请晶圆静电吸盘的检测方法，可成功检查出是否能满足工艺技术要求的晶圆静电吸盘，从而大大减小产品报废风险，提

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115980878 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211687056.X (22)申请日 2022.12.27 (71)申请人杭州富芯半导体有限公司地址 3

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