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2023-05-26 发布于四川
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一种硅基OLED微显示器的制备方法.pdf

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本发明公开了一种硅基OLED微显示器的制备方法，包括：将包含有电极的硅基CMOS驱动电路的基板进行清洗并烘干；对基板进行阳极镀膜并涂覆上第一特性的光刻胶后，使用第一掩膜版对第一特性的光刻胶进行曝光显影，以在基板上形成第一光刻胶保护层；对基板依次进行阳极工艺后，将第一光刻胶保护层和阳极工艺中产生的正性光刻胶均去除，使得电极上存在有阳极保护层；针对包含有阳极保护层的基板执行生产相关加工工序；在基板上涂覆第二特性的光刻胶，并在涂覆完成后使用第二掩膜版进行曝光显影，刻蚀去除阳极保护层；以及在完成去除阳极

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112259703 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011129418.4 (22)申请日 2020.10.21 (71)申请人安徽熙泰智能科技有限公司

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