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    一种基板容器系统，包括容器主体及后盖。所述容器主体具有底面、使基板能够通过的前开口、以及与所述前开口相对的后开口，其中，所述后开口的宽度小于所述前开口的宽度。所述后盖覆盖所述后开口并与所述容器主体建立密封地接合。所述后盖包括第一进气结构，在组装时所述第一进气结构弯曲地延伸在所述容器主体的底面下方，所述第一进气结构包括与所述容器主体的底面相对并且面向下的进气埠。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112289719 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 20201

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