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2023-05-26 发布于四川
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薄膜晶体管阵列基板及其制作方法.pdf

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本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法，在第一绝缘层上形成棱镜结构和第一接触孔，其中第一绝缘层包括第一绝缘膜层和覆盖在第一绝缘膜层上且蚀刻速率大于第一绝缘膜层的第二绝缘膜层，在对第一绝缘层进行蚀刻时，由于第一绝缘层下部分的第一绝缘膜层和上部分的第二绝缘膜层的蚀刻速率不同，经过蚀刻速率较大的第二绝缘膜层的引导，最终形成的棱镜结构可以呈现良好的锥度角，提高了散光能力，并且在第一接触孔的孔壁还覆盖有第二绝缘层，避免了因对应第一接触孔同时蚀刻第一绝缘层和第二绝缘层而产生底切的情况，使得后续填入接触

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112259554 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011084353.6 (22)申请日 2020.10.12 (71)申请人昆山龙腾光电股份有限公司

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