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提供了一种用于处理工件的方法。方法可包括将工件放置在处理腔室内设置的基座上。方法可包括在处理腔室中的工件上进行多循环热处理工艺。多循环热处理工艺可包括至少两个热循环。至少两个热循环的每个热循环可包括在第一温度在工件上进行第一处理；将工件的设备侧表面在小于一秒内加热至第二温度；在近似第二温度在工件上进行第二处理；和在进行第二处理之后使工件冷却。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112272864 A
(43)申请公布日 2021.01.26
(21)申请号 201980036897.4 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所
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