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一种具备微结构的三层氮化硅减反层及其制备方法.pdfVIP

一种具备微结构的三层氮化硅减反层及其制备方法.pdf

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    本发明公开了一种具备微结构的三层氮化硅减反层，包括按光线入射方向依次层叠的第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜，所述第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜折射率依次增加而厚度依次减小，所述三层氮化硅减反层设有贯通所述第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜的纳米圆柱孔阵列微结构。本发明还公开了具备微结构的三层氮化硅减反层的制备方法，以等离子增强气相沉积法沉积氮化硅膜，由氮气流量和硅烷流量的比例控制氮化硅膜折射率，通过调控沉积时间控制氮化硅膜厚度。本发明在扩展增透光谱宽度的同时提高了光吸收率

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112271221 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011090280.1 H01L 31/0236 (2006.01)

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