有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共21页，其中可免费阅读20页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种用于生长半导体薄膜的低温型衬底加热台及其制造方法，该衬底加热台的结构包括加热部分、水冷部分、热电偶和掩膜板。加热部分位于加热台下部四周，可插红外灯管，实现对衬底的直接加热；水冷部分位于加热台内部腔体，腔体内部设有三个水路挡板用于实现内部水流的“S”型走位，提高水流的速度，提高对衬底的散热效率；热电偶位于加热台的中部，其底部与加热台底部平齐，可实现对衬底的精确测温；掩膜板位于加热台的下部，与加热台是两个独立的部件，可通过加热台下部的螺纹洞，用螺丝将掩膜板栓在加热台上，使衬底背部与加
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112289711 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202011145437.6
(22)申请日 2020.10.23
(71)申请人 西北工业大学
地址
文档评论（0）